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专利库

专利名称:

一种针对离子束牺牲层中高频误差抑制加工的复合牺牲层加工方法

英文名称:

专利类别:

发明专利

申请号:

CN104608024A

申请日期:

2015.01.22

授权日期:

专利号:

第一发明人:

施春燕;许力超;张亮;张凌

其它发明人:

施春燕;许力超;张亮;张凌

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

缴费情况:

公开

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注:

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